半导体上游材料设备迎涨价潮！科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）单日成交额放量达5.44亿元

　　近期，美伊达成谅解备忘录有效提振市场情绪，半导体设备板块强势领涨，带动相关ETF交投火热。Wind与交易所数据显示，科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）昨日单日成交额达5.44亿元，环比增长37%，同日获2400万元资金净流入。产品最新规模攀升至24.79亿元，流动性优势或进一步巩固。

　　电子特气概念同步活跃，电子特气在半导体制造中应用广泛，涉及薄膜沉积、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等上游材料设备关键环节。消息面上，AI产业驱动六氟化钨消耗量激增，价格持续上涨，截至2026年6月10日，中国纯度为99.999%六氟化钨价格1670-1810元/kg，价格较去年同期涨幅达232.7%。

　　存储行业高景气正沿产业链向上游传导。根据SEMI数据，2025年全球半导体材料市场销售额达732亿美元，同比增长6.8%，创历史新高，其中晶圆制造材料同比增长5.4%，封装材料同比增长9.3%，光刻胶、光掩膜及湿化学品等受先进制程驱动实现双位数增长。2025年中国大陆半导体材料市场规模约为156亿美元，同比增长12.5%。随着先进制程对电子化学品纯度、稳定性及一致性的要求持续提升，行业格局有望向具备技术实力、规模优势和长期客户合作基础的头部企业集中。

　　科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）及其联接基金（A类024974/C类024975）跟踪指数为科创半导体设备指数，“半导体设备+半导体材料”行业权重占比达84.56%、“先进封装”概念占比59%，指数权重明显向产业链中技术壁垒高、订单集中度强、国产化率提升空间大的核心环节倾斜，体现了设备先行的产业逻辑，有望受益于国内晶圆厂扩产周期与先进制程突破。

　　100%科创板选股或赋予科创半导体设备指数更强弹性，近一年该指数累计涨幅221%，优于同期中证半导体材料设备主题指数（204%）、中证全指半导体指数（141%）、科创芯片指数（171%）、国证芯片（129%）等部分主流半导体主题指数。

　　华泰柏瑞基金作为国内首批ETF管理人，在指数投资领域深耕超19年，为投资者打造了沪深300ETF华泰柏瑞（510300）、A500ETF华泰柏瑞（563360）等投向透明、交易便捷、费率低廉的指数工具产品。截至2026年3月末，公司旗下ETF近两年累计为持有人盈利超2234亿元，是同期A股全市场仅有的三家累计盈利超两千亿的公募基金公司之一。