近期半导体材料设备行情火热，核心驱动力来自供需两端的共振，有望加速六氟化钨国产替代以及出海业务进程。供给端，我国对钨相关物项的出口管制持续收紧，导致海外六氟化钨产线因原料短缺面临断供危机；需求端，AI算力爆发与存储芯片向300+层堆叠升级，推动六氟化钨单耗持续攀升。
半导体材料方面，AI产业驱动六氟化钨消耗量激增，受我国钨相关原料出口管制影响，海外供应端明显承压，六氟化钨价格持续上涨。据悉，六氟化钨是半导体芯片制造的核心电子特气，电子特气在半导体制造中应用广泛，涉及薄膜沉积、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等上游材料设备关键环节。
海外半导体材料或面临断供。据 The Elec 等媒体报道，日本关东电化、中央硝子等核心供应商已先后向三星电子、SK 海力士、DB HiTek 等客户发出供应预警，并表示受中国钨原料出口管制影响，库存仅能维持到 5–6 月底，下半年供应无法保障。早在 2026 年初，日韩厂商已将六氟化钨单价上调70%–90%。
山西证券表示，伴随存储芯片向300+层堆叠升级，单片晶圆钨沉积用量持续提升。市场需求高景气加之海外供给不足，国内六氟化钨或迎来高速发展期，整体呈现量价齐升格局。据海关总署发布六氟化钨出口数据，2026年1月-4月，六氟化钨出口均价由68.75美元/公斤增长至149.79美元/公斤，增幅超100%。出口量方面，今年1月-4月六氟化钨出口量共计156.03吨，同比增长7.10%。
在半导体上游材料涨价行情催化下，科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）交投显著升温。Wind与交易所数据显示，该ETF连续3个交易日单日成交额超越5.3亿元、较今年1-5月2.62亿元的日均成交额显著放量，同期累计吸引3.25亿元资金净流入，资金的踊跃布局助推产品最新规模攀升至29.11亿元，创下历史新高。
科创半导体设备ETF华泰柏瑞（588710）及其联接基金（A类024974/C类024975）跟踪指数为科创半导体材料设备，“半导体设备+半导体材料”行业权重占比85%、“先进封装”概念占比59%，指数权重明显向产业链中技术壁垒高、订单集中度强、国产化率提升空间大的核心环节倾斜，体现了设备先行的产业逻辑，有望受益于国内晶圆厂扩产周期与先进制程突破。
100%科创板选股或赋予科创半导体材料设备更强弹性，近一年该指数累计涨幅229%，优于同期中证半导体材料设备主题指数（214%）、中证全指半导体指数（159%）、科创芯片指数（191%）、国证芯片（151%）等部分主流半导体主题指数。
华泰柏瑞基金作为国内首批ETF管理人，在指数投资领域深耕超19年，为投资者打造了沪深300ETF华泰柏瑞（510300）、A500ETF华泰柏瑞（563360）等投向透明、交易便捷、费率低廉的指数工具产品。截至2026年3月末，公司旗下ETF近两年累计为持有人盈利超2234亿元，是同期A股全市场仅有的三家累计盈利超两千亿的公募基金公司之一。
